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CNC精密零件加工的表面处理气相沉积沉积法

文章出处:人气:: 发表时间:2019-08-08 10:36:31

CNC精密零件加工气相沉积是近年兴起的一种表面改性新技术,气相沉积的方法有物理气相沉积(PVD)法和 化学气相沉积(CVD)法。化学气相沉积与物理气相沉积一样,都是通过气体(以分子或原子状 态)沉积成膜的方法,它们的主要区别是气化的方法不同。

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1,物理气相沉积(PVD)法 物理气相沉积有多种方法,常用的是离子镀膜法,它是在其 空条件下,以工件为阴极,被蒸发金属为氧极,利用烽光放电产生的等离子体,使沉积物由固 态转变为气态,从而沉积到工件的表面上的表面改性技术,沉积膜结构致密,与基体结合力 强;沉积温度较低,可避免零件的软化或变形。


能制成金属、合金和无机化合物的膜层,有耐 磨膜、耐蚀膜、耐热膜、润滑膜、磁性膜,光学膜以及其他功能性薄膜。能满足现代技术提出 的越来越高的要求,因而这种技术得到了迅速的发展,在航空航天、原子能,电子、电器、机械制造和轻工等部门得到了广泛的应用。


TiN、TiC. Ti(CN)、MO,镇膜硬度高,耐磨性好, 能使工件的寿命延长几倍到几十倍,已广泛用于金属切削工具、成形模具、量具和精密轴承 等。气相沉积Al、Cr、Ni和合金的防腐镀层已用于飞机、宇航器上。


2,化学气相沉积(CVD)法化学气相沉积是使沉积材料的挥发性化合物气体发生分解或 化学反应,并在工件表面沉积成膜的方法,反应主要包括分解、还原和化合,这一过程需要一 定的激发能。


常用的有热CVD、等离子CVD等。沉积膜结构致密,与基体结合力强;沉积温 度较高,易使工件变形;能制成金属、合金和无机化合物的膜层。主要用于制造半导体器件, 切削刀具改性,制取人造金刚石等。硬质合金刀具常用CVD法镜制TiN、TiC镀层,由于CVD 法-次装炉量大,设备投资低,因而成本较低。由于处理温度较高(900~ 1200t),超过高速 钢的回火温度,故高速钢刀具不适宜采用CVD。


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